-标准软件
-钼靶X光管, 30W
-最大电压50kV
-检测系统-能量分辨率小于160电子伏特
-仪器控制电路
-高压供给及控制系统
-电源分配器
-数据采集,预处理及仪器控制
-固定分析面积1.0毫米微区分析系统
-CCD样品表面图象显示及分析点确定系统
-2mm固定分析距离
-500´600´700mm大型自由样品室
高精度马达驱动XYZ三方向自动样品台,移动范围240´178´160mm,最大负载3公斤.附带样品台驱动软件，点分析，线扫描，面扫描（mapping）软件(可选)
软件驱动的狭缝交换器，分析面积为0.2/0.5/1/2.5/3.3 mm. (可选)
真空或者氦气充气系统(可选)
-合金软件基本参数法分析软件FP+用于合金中元素的分析。（软件以实际标准样品回归）
仪器说明
仪器校正用标准样品