产品属性
真空井式坩埚炉由石英坩埚(或氧化铝坩埚)和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体中的高纯度化合物,退火或扩散半导体晶片;也可用于烘烧或烧结陶瓷材料
炉膛尺寸:外径205*内径190*高340mm
最高温度:1600度(1200℃)
工作温度:1500度(1100℃)
控温方式:智能化30段可编程自动控制
加热元件:硅钼棒(含钼电阻丝)
炉膛材料:氧化铝纤维
炉 壳:双层风冷结构
热 电 偶:B分度
升温速率:≤15度/分钟
恒温精度:±℃
最大真空度:-0.1Mpa
额定功率:可定制
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