YG-1706I-CVD系统由高温管式炉，高真空扩散泵/分子泵系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，自动压强控制系统等组成。可实现本底真空达0.001—0.0001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试验, 适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长等场所。
主要功能和特点：
1、 真空系统可根据使用要求选择我司扩散泵机组或分子泵机组；
2、 可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、 数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；
4、 每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全可靠。
5、 采用水冷KF快速法兰密封，装卸方便快捷；
6、 管路采用世界顶级Swagelok卡套连接，不漏气；
7、 超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，保证设备及实验的安全性。
主要技术参数：
高温炉 | 控温方式 | 采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制50段升降温程序。 |
加热元件 | 进口1700型优质硅钼棒 |
工作电源 | AC220V 50Hz/60Hz |
额定功率 | 6kw |
炉管材质 | 99瓷氧化铝刚玉管 |
炉管尺寸 | Φ60*1000mm |
工作温度 | ≤1600℃ |
最高温度 | 1650℃ |
恒温精度 | ±1℃ |
升温速度 | ≤10℃/min |
测温元件 | B型热电偶 |
密封方式 | 不锈钢水冷KF法兰挤压密封 |
ZK 真空系统 | | ZK-F | ZK-K |
真空范围 | 0.1-0.001Pa | 0.1-0.01Pa |
极限真空 | 5.0*10^-5Pa | 5.0*10^-4Pa |
产品配置 | 双级旋片真空泵+分子泵 | 双级旋片真空泵+扩散泵 |
冷却方式 | 风冷 | 水冷 |
抽 速 | 110L/S | 100L/S |
测量方式 | 复合真空计 |
真空规管 | 电阻规+电离规 |
ZDC-I 压强控制系统 | 测量范围 | 1*10^5～1*10^-1 Pa |
稳压(真空)范围 | 1*10^3～1*10Pa |
压力(稳定精度） | ±3% |
控制范围 | 2.5*10^3～5*10^-1 Pa |
控制精度 | ± 1% |
HQZ-Ⅲ 混气系统 | 控制方式 | D07-7K质量流量计,D08流量显示仪 |
流量规格（可订制） | 0－500SCCM /0－1SLM, |
线 性 | ±1%F.S. |
准确度 | ±1%F.S. |
重复精度 | ±0.2%F.S. |
响应时间 | ≤2sec |
耐 压 | 3MPa |
气路通道 | 3通道（根据客户需求） |
针 阀 | 316不锈钢 |
管 道 | Φ6mm不锈钢管 |
接 口 | SwagelokΦ6mm |