产品属性
一、 主要用途:
供制备薄膜无源微型元件。
二、主要技术指标:
1、蒸发室极限真空度: 4×10-4Pa
2、蒸发室恢复4×10-3Pa的时间: ≤15min
3、基片旋转架的转速: 0~60n/min
4、基片烘烤温度: 室温~350℃
5、蒸发电极数量: 3对
6、蒸发电极参数: 0~10伏 0~300A
7、离子轰击参数: 0~3000伏 0~200mA
8、钟罩容积: Φ500×620(mm)
9、需要动力: 电力 10KW
10、外形尺寸: 1300×830×1720(mm)
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